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但历史轨迹又不一样的是,asml完成对尼康佳能超越的关键团队,目前在苏远山手上。
“而且我们一直都与多方的光刻机企业有技术支持和合作,这
错的关系之下,除非德远受到了明确的针对,否则不会发生。”
“山总,那要是遇到光刻机禁售……怎么办?”
苏远山倒是想搞,可现在要是搞的话,那就不是远芯主导,而是所有人给霓国人打工。
“至于说下一代光源,其实我和老林并不十分看好157nm,因为hef2激光可以说要完全推翻现有的光路系统,非但
镜要重新搞,光刻胶也要重新研制……最主要的是,波长步
提升不大,且投
产
比太
了。”
虽然比起国外同行落后了差不多一年多,但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看,193nm将会成为很长一段时间内都无法突破的光源。否则灯塔国那边也不会成立euv联盟,找寻新的
路了。
“呵呵,不
是不是,但设计师不是有句话吗?摸着石
过河……既然前面有人趟路了,那我们也
脆摸着石
过河就行了。”赵凯东笑
:“intel不是拉了那么多企业吗?你也可以拉一个嘛。”
赵凯东和林本
对视了一
,随后笑着
:“193nm看样
都要停留很久,你这么着急?”
但远芯还有个问题。
“总之走着看,我们技术越有优势,就越有讨价还价的本钱。”说着苏远山站起
,朝着前方的实验室走去。
“林叔,赵叔,193nm之后你们的想法是什么?”坐到沙发上,苏远山端起茶杯抿了一
。
因为这些方案,都败给了
前这个乐呵呵的老爷
。
(注:虽然有
枯燥,但……总归还是得写。。。)
“林叔,赵叔。”
梁梦松不擅长这些“大棋”,他只需要知
,苏远山说不会,那他就不用担心了。
晶圆厂是个赢家通吃的行业,谁掌握了先
制程,谁就掌握了
端芯片代工的定价权。”
但
哪一条是真正的正
,谁也不知
。
……
梁梦松
,他当然清楚,今后的制程推
会越来越难,投
需求也会越来越大——当然回报也肯定足够丰厚。
euv已经如历史轨迹一样成立——asml这个荷兰小公司,在签下了几乎是卖
契之后终于得以
了euv联盟。
“林叔?你有什么妙招没有?”
“我本来是不着急的。”苏远山很坦白:“主要是老
那边搞euv,搞得我有
心慌。”
苏远山:“……”
“只要国产光刻机仍然在追赶,禁售就不会发生。”苏远山抿着嘴,沉默地望向远
的一栋大楼——那里便是林本
和赵凯东的联合团队所在的实验室。
这架势,看来苏远山是真铁了心的要全力推制程突破了。
照职位算,梁梦松只能排到德远的第五。
而且德远目前也确实是尼康的友好客
,在去年wa协定签署后,国内半导
产业都风声鹤唳了许久,尼康为此还特意安排了工期……后面证明,霓国方面除了加
了检查之外,并没有
涉德远的订单。
见到跟在苏远山
后的梁梦松,林本
倒没什么,赵凯东则是微怔了一下——此时张汝金不在,
照规矩,负责接待陪同苏远山的显然应该是德远的二把手来……
他算是听明白了,赵凯东的意思是,让他也搞个euv联盟。
可以想象,在接下来的数年内,asml将会迅速从技术上同时对尼康佳能
行追赶,并如历史轨迹一般完成euv的技术构想。
在接待室落座后,苏远山简单问了一下目前的
度——在光源领域,因为林本
的加
,赵凯东团队
展得很快,他们即将完成193nm的准分
激光光源技术。
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“euv,听起来很不错,有
下一代光源的意思。但你看euv联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”
苏远山见两人同时站在门
,连忙上前握手,梁梦松也上前打了招呼。
说到光刻机,苏远山
上便沉默了下来。
苏远山便笑
:“有您二位在,咱们这实验室可不是小作坊。”
嗯,只有苏远山一个人知
。
于是他便望向林本
。
当然,对于如何跨越193nm,除了euv之外,也有其他的方案。譬如尼康和svg就在准备攻克157nm的hef2激光,以及电
束投
(epl),离
投
(ipl)、甚至x光等等……
总之,就是解决的办法一箩筐,放
望去全是路。
赵凯东便笑着摇了摇
:“虽然说光源要比光刻机领先很多,但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上,你心慌也没用。”