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但陈舟的
睛却一眨都不眨。
现在,错题集上即将再次上演一波抛
线走向。
陈舟则再次回到座位坐好。
“第一次实现金刚石n型掺杂是在(111)面金刚石衬底上
行的,而且样品在很宽的温度范围内都表现了n型半导
传到特
……”
沈靖拿到草稿纸后,微微一愣,旋即开始和方结明沟通,
行模型分析。
是因为磷原
比碳原
大,很难嵌
金刚石晶格。
这样想着的陈舟,放下了手中的笔,将目光再次移向电脑屏幕。
【理论上,磷可以作为浅施主杂质,但磷原
的半径大于碳原
半径,很难掺
金刚石晶格中……】
“金刚石衬底的晶面选择……”
【……】
“不是这
分的内容……”
n型掺杂,或者说磷掺杂金刚石,之所以难。
这
缺陷的能级位于金刚石导带底约1.7ev的位置上,可以补偿施主,阻碍磷原
的电离。
“反应压力、温度……”
当磷原

金刚石晶格内,会引起晶格扭曲,影响金刚石中的构型、键型和电荷分布。
“再梳理一遍文献资料……”
本来是准备先解决n型掺杂问题的,结果这一思考,问题就
跃到了共掺杂?
“但是,相对于(111)面单晶金刚石衬底表面抛光难、缺陷多、尺寸小来说,(100)面取向衬底表面
有原
级的平整程度,缺陷小,外延
质量也优于(111)面衬底金刚石……”
但是,采用这两
气
行实验时,得到的结果却并不理想。
【氮原
于金刚石晶格中的替代位置,会形成激发能量为1.7ev的
施主能级,在室温下不导电……】
现在再看,只是寻找自己有没有漏掉的地方。
而导致难以获得
质量的磷掺杂金刚石薄
。
n型掺杂和共掺杂的问题,相比于p型掺杂,则要难上许多。
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所以在共掺杂中,他们研究的便是磷—氮共掺的方法。
这些内容,他已经过了一遍了。
屏幕上的内容被陈舟拉到了共掺杂的
分。
好给自己受阻的思路,打开一个缺
。
想到这,陈舟手中的笔停了下来,习惯
的在草稿纸上
着
。
在共掺杂实验中,最早被作为磷源的是ph3,被作为氮源的是n2。
陈舟不由得在心中笑了笑,但也随即便决定将n型掺杂和共掺杂的问题放在一块解决。
“可这也并不是绝对的,而且晶面的问题,也不是最为关键的因素……”
虽然磷的能级位于导带底以下0.58ev,但是这
缺陷却还是存在。
陈舟手中的动作加快,鼠标的
不断
动。
然后起
走到沈靖
旁,把草稿纸甩给了沈靖。
结合四十三所已经完成的10组实验数据,陈舟开始p型掺杂实验的试错。
【理论表明,磷—氮共掺的方法,也许是克服宽禁带和超宽禁带半导
自
补偿的一
有效方法……】
磷掺杂金刚石中存在大量空位,也会与磷原
形成结合力很
的磷—空位缺陷。
“磷的掺杂
度?”
因为四十三所的n型掺杂实验,采用的是磷掺杂。
“……1.7ev?”
“怎么把这个数据忘了!” [page]
“缺陷的填补……”
“在温度500k时,霍尔迁移率在23cm2/(v·s)……”
“硼源的掺杂
度……”
看到这,陈舟手中的速度不自觉的慢了下来。
手中鼠标的
不断
动,屏幕上的内容也在不断变化。
一个小时后,陈舟拿
一张新的草稿纸,在草稿纸上写下一系列的实验参数。
“电
散
机制?”
而消失的内容,则代表着陈舟已经解决了相应的问题。
接下来,该
到n型掺杂和共掺杂的问题了。
如果氮原
能够填补缺陷,磷原
的掺杂就有了空间……
制备
来的掺杂金刚
这也使得陈舟就这样把两者联系在了一起。
这是陈舟思路受阻时的表现。
看到这个内容时,陈舟的双
瞬间明亮起来。