好在，徐佑可以依靠算经大的算力，来大大提自己的计算速度。

徐佑顾不上休息，继续和算经一起，行着接下来的工作。

仅仅依靠设计图，是远远不够的。

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只是，虽然徐佑有了这些推论，但仅仅依靠自己的算力，是很难在有限的时间内，找到最佳的聚焦光斑尺寸的。

在euv光源方面，黄思白提供了一些技术，但并没有彻底的解决问题。

“崔老师，徐老师今天怎么又没来实验室？需不需要我们去看一看他啊？”

“不必了，徐老师最近可能有些劳累，需要休整一段时间，暂时就不先不现在实验室了。林诗，就算徐老师不在，你也要好带作用，继续几个项目的研究工作。”

“如果调整一下聚焦光斑的尺寸……情况就会有所不同了。”

而其中的原因，是因为在最佳聚焦位置，聚焦光斑尺寸较小，激光聚焦锥角也较小，等离收的能量会局限在中轴附近，影响等离对激光能量的收。

……

徐佑不在的时候，林诗更应该挑起大梁，继续徐佑未完成的科研项目。

“等一下……极紫外辐的光谱，似乎还有继续优化的空间！”

效的工作，需要有足够亮的euv光源才行。

更换了新的euv光源装置后，徐佑重新行光刻机工作程的推演。

确定了光刻机的设计方桉，徐佑仍需要总结各个件的工艺。

正在这时，实验室的大门突然被敲响。

在徐佑的实验室中，林诗正在焦急的向崔颖询问着什么。

这样一来，激光能量会有效地分布在整个等离的前沿，等离可以有效地收激光能量，减少能量的损失。

林诗心里隐约还是有些担心徐佑，不过既然崔颖这么说，林诗也不好再问什么。

经过多次的计算，徐佑总算找到了euv光谱度最的位置。

当然，聚焦光斑尺寸不可以增大过多，否则的话，就会起到适得其反的效果了。

“如果能够照这样的效率去工作，那这台euv光刻机，是真的有可能投到使用中的！”

正如徐佑所料想的一样，当光源的亮度大大增加后，光刻机的工作效率，也跟着提了不少。

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照徐佑的理论，当聚焦光斑尺寸略微增大时，激光聚焦锥角也会跟着增大。

因为，想要制造像光刻机这样，如此密的仪。

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如果没有的工艺，即使拿到了设计图，也并不代表就能把光刻机整个制造来。

这时，徐佑突然注意到。

在正常的激光最佳聚焦位置下，激光能量和等离之间缺乏有效的耦合。

“好的，崔老师，我知了。”

换句话说，所谓的“激光最佳聚焦位置”，很可能并不是euv光谱度最的位置。